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我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成

泉源：中国修建质料科学研究总院宣布时间：2016/6/12 0:00:00

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　　克日，，，，，，，，j9游国际站官网总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造手艺，，，，，，，，在衢州建设了海内首条从基板原质料制造到产品加工的成套生产线。。。。。。。。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，，，，，，，，突破了石英玻璃基板原质料及产品恒久依赖入口的时势。。。。。。。。

该生产线的建设，，，，，，，，是j9游国际站官网总院肩负的“十二五”国家科技支持妄想“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种质料要害手艺研发及树模”课题的效果之一。。。。。。。。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的焦点器件，，，，，，，，市场需求量重大。。。。。。。。作为石英玻璃基板的原质料，，，，，，，，合成石英玻璃具有热稳固性好、光学匀称性高、耐辐照等诸多优点。。。。。。。。然而，，，，，，，，受原质料纯度、匀称性及加工精度、硬脆特征等制约，，，，，，，，我国石英玻璃基板恒久依赖入口。。。。。。。。

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　　作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，，，，，，，，j9游国际站官网总院石英院依托浙江衢州高新园区的化人为源，，，，，，，，形成了循环经济工业链，，，，，，，，建设了高性能石英玻璃研发基地，，，，，，，，并建设中j9游国际站官网衢州金格兰石英有限公司。。。。。。。。经科研职员不懈起劲，，，，，，，，形成一套切合我国行业现状与生长趋势的独吞工艺蹊径，，，，，，，，不但解决了石英玻璃基板原质料的纯度、匀称性难题，，，，，，，，同时实现了原质料绿色制造。。。。。。。。石英院还引入多刀切割、清静快速磨抛工艺，，，，，，，，创立性地开发了熔拉制坯、数控倒角等手艺，，，，，，，，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。。。。。。。。从基板原质料制造到产品加工，，，，，，，，石英院形成专利20余项，，，，，，，，行业标准、国军标及国家标准10余项，，，，，，，，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，，，，，，，，不但逐步替换入口，，，，，，，，实现了集成电路等用高性能石英玻璃要害质料及制品的国产化，，，，，，，，并且出口欧洲、日本等国。。。。。。。。

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