克日，，，，，，j9游国际站官网总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造手艺，，，，，，在衢州建设了海内首条从基板原质料制造到产品加工的成套生产线 。 。。。 。 。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，，，，，，突破了石英玻璃基板原质料及产品恒久依赖入口的时势 。 。。。 。 。
该生产线的建设，，，，，，是j9游国际站官网总院肩负的“十二五”国家科技支持妄想“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种质料要害手艺研发及树模”课题的效果之一 。 。。。 。 。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的焦点器件，，，，，，市场需求量重大 。 。。。 。 。作为石英玻璃基板的原质料，，，，，，合成石英玻璃具有热稳固性好、光学匀称性高、耐辐照等诸多优点 。 。。。 。 。然而，，，，，，受原质料纯度、匀称性及加工精度、硬脆特征等制约，，，，，，我国石英玻璃基板恒久依赖入口 。 。。。 。 。
作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，，，，，，j9游国际站官网总院石英院依托浙江衢州高新园区的化人为源，，，，，，形成了循环经济工业链，，，，，，建设了高性能石英玻璃研发基地，，，，，，并建设中j9游国际站官网衢州金格兰石英有限公司 。 。。。 。 。经科研职员不懈起劲，，，，，，形成一套切合我国行业现状与生长趋势的独吞工艺蹊径，，，，，，不但解决了石英玻璃基板原质料的纯度、匀称性难题，，，，，，同时实现了原质料绿色制造 。 。。。 。 。石英院还引入多刀切割、清静快速磨抛工艺，，，，，，创立性地开发了熔拉制坯、数控倒角等手艺，，，，，，解决了石英玻璃基板加工精度的难题 。 。。。 。 。从基板原质料制造到产品加工，，，，，，石英院形成专利20余项，，，，，，行业标准、国军标及国家标准10余项，，，，，，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，，，，，，不但逐步替换入口，，，，，，实现了集成电路等用高性能石英玻璃要害质料及制品的国产化，，，，，，并且出口欧洲、日本等国 。 。。。 。 。
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